到達圧力が低いように思う（ベーキング後で1E-5Pa程度）

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  • 2015年10月14日 3:55 PM #254
    山田
    キーマスター

    これまでにしたこと
    ・チャンバー内の掃除（壁面にはまだいろいろこびりついているが、取りきれない）
    ・ターボポンプを 300Lに交換（効果なし）
    ・リークバルブのついている ICF ７０をブランクフランジに交換（特に変化なし）
    ・大気リークからN2リークに変更（リーク時N2圧力０．２MPa） その後、一応窒素リークとする
    ・ビューポートをブランクフランジに変更（変化なし）
    ・１５０L　TMP を　３００L　に交換（変換フランジ（ICF114/152）を通す場合、通さない場合） いずれも若干排気速度が早くなるも２０～３０分程度

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