流量コントロール不可。赤ランプ点滅

備品フォーラム一覧 フォーラム マスフローコントローラ(RFスパッタ用) 流量コントロール不可。赤ランプ点滅

  • このトピックには8件の返信、2人の参加者があり、最後に山田により10年前に更新されました。
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  • #134
    山田
    キーマスター

    本体写真
    IMG_2677

    本体は赤ランプ点滅(点灯ではない)。
    IMG_2678

    制御パネル(下段)の数値は100%越えのまま、ダイヤルを変えても変わらず
    IMG_2679

    制御パネルを付け替えても赤ランプ点灯かつ、表示が100超だったので、フローメーター本体の故障と判断。業者問い合わせ。

    担当:神谷

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    #147
    匿名
    無効

    株式会社リンテックさんとのやりとり 9月16日時点

    お世話になっております。
    大阪大学 基礎工学研究科 夛田研究室 神谷と申します。

    この度は、以下の貴社製品について、動作不良が生じましたので、
    その対応についてお聞きしたく連絡させていただきました。

    動作不良をおこしているのは
    マスフローラコントローラ用電源・表示設定ユニット RP-100
    および
    デジタルマスフローラコントローラ MC-3000E
    になります。

    症状としましては、

    RP-100において内部バルブ制御スイッチをCLOSEおよびCONTROLにしても、
    OPENのときのように、最大流量時の値が表示される。
    そのときに、MC-3000E側では常に赤色LEDが点滅する。

    また、CLOSEおよびCONTROL時において、RP-100の表示は最大流量時の表示であるが、
    圧力計で見る限り、ガスの流入はされていない様子であること。
    OPEN時にはガスの流入がされているようであること。
    電源を落とした後に再度、使用を試みても同様の不具合が起きること。

    以上になります。

    お忙しいところお手数ですが、ご回答いただければ幸いです。

    神谷

    大阪大学 基礎工学研究科 夛田研究室 
    神谷建様

     いつもお世話になっております。リンテックの松永です。
    先程、お電話いたしましたが、

    記載いただいた症状では、MFC(MC-3000E)と電源表示器(RP-100)
    のどちらに故障の原因があるか判断がつきません。

    お手数おかけいたしますが、ケーブルを別のMFCに繋ぎ直してみて(MFCと電源表示器スワップしてみて)症状が
    どちらで再現するかで切り分けいただいた方が、対処が絞込みやすくなりますので、確認いただければと存じます。
    ご連絡は、当メールにてご返信いただければと存じます。

    よろしくお願いいたします。

    12:20 (0 分前)

    To H-matsunaga
    株式会社リンテック
    滋賀営業所  松永知久様

    ご連絡いただきありがとうございます。
    大阪大学 神谷です。

    ご指示いただいたように、ケーブルの交換を試しましたが、
    症状の変化はありませんでしたので、
    マスフローコントローラ側の不調だと思われます。

    よろしくお願いいたします。

    神谷

    #148
    匿名
    無効

    業者さんとのやり取り 9月16日続き

    大阪大学 神谷様

     ご対応ありがとうございます。
    MFCの故障で、電気系の部品(メイン基板やMFCセンサ、アクチュエータ)の故障の
    可能性が高いと考えられます。

    下記、住所にご送付いただければ、修理の対応可能です。

    実際には、現品確認後、最終確定いたしますが、
    仮にOH+センサ交換+基板交換+アクチュエータの交換であれば、
    費用面は、新品とそれほど変わらなくなります。

    納期面(修理の場合、現状4週間程度)でも、新品購入いただいた方が、
    返って短納期で対応できるModel(MC-700シリーズ)もございます。
    一度、ご検討いただければありがたく存じます。

    また、ご使用いただいているModel MC-3000Eシリーズは、古いModelの為、
    内部に使用しているCPUが生産されなくなり、昨年、生産中止となった製品となります。
    修理対応の期間も、2018年7月までの予定となっております。
    ご考慮賜れればと存じます。

    なんかやたら納期を要求されています。

    #149
    匿名
    無効

    やり取り続き 9月16日

    株式会社リンテック
    松永様

    ご連絡ありがとうございます。

    修理対応については、交換部位の多寡に関わらず
    4週間程度かかるという理解でよろしいでしょうか。

    また貴社ホームページを拝見させていただいたところ、
    MC-700シリーズが見当たらないのですが、どのような製品になるのでしょうか。

    お手数おかけして申し訳ありませんが、
    製品仕様、納期、お見積をいただければ幸いです。

    よろしくお願い申し上げます。

    神谷

    #150
    匿名
    無効

    業者さんとのやり取り 9月17日時点

    大阪大学 
    神谷様

     お世話になっております。リンテックの松永です。
    4週間程度というのは、交換部位の多寡で変わってきますが、
    今回の症状から考えて想定されるセンサや基板を交換し、OHした場合、
    新規製作品と同じ工程が必要になります。
    状況確認、見積りなど着手前の期間も含めると新規の製品より期間を要する場合が多くなってしまいます。

    MC-700のカタログ添付いたします。MC-3000Eと精度は同じです。
    上部にあるロータリスイッチを切替える事で、フルスケール流量や、ガス種を
    切替えて使用できる機能が追加されています。

    緊急対応用に、中間在庫も持っており、納期は、1週間程度でも対応できる製品となっております。

    御見積りは、確認後提出いたしますが、現状品の継手、流量を教えて下さい。
    (シリアルNo.が分れば当方でも確認できます。)
    5SLM以下の流量で¥140,000.~150,000.程度となります。
    よろしくお願いいたします。

    結局修理に送ってもそれなりのお金を取られそうな予感がします。
    マスフローコントローラの相場を知りませんでしたが、
    意外とお値段なさるそうです。

    #151
    匿名
    無効

    業者さんとのやり取り 9月17日 続き

    大阪大学 
    神谷様

     お世話になっております。リンテックの松永です。
    S/N01036020の仕様を確認いたしました所、フルスケール流量が、
    O2 1SCCMと特殊な仕様(標準的な流量範囲外)の製品でした。
    その為、対応可能Model(MC-3000L)が変わってきます。(添付資料ご参照願います。)

    価格、納期も多少異なってまいります。
    御見積り添付いたします。納期もできるだけ前倒すよう調整はかりますので、
    ご検討の程、お願いいたします。

    納期がかなり遅くなって3週間らしいです(上記のように前倒しするよう努力はするそうですが……)。
    お値段も165,000円と結構します。

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    #165
    山田
    キーマスター

    リンテック横田さんと打ち合わせ

    0.3SCCM程度であれば、小流用オプションなしの標準モデル 5SCCMでも十分いけるはず。小流量オプションをつけると値段は+一万程度だが、納期が+一週間かかる。次回故障したときのことなども考え、標準品で良いと管がル。

    【分解能の計算】
    制御スケールは、フルスケールに対する%で決まる。
    5sccmのモデルの最小流量はフルスケールの2% = 0.01sccm なので問題なし。精度は、+-0.25% = 0.00125sccm

    小流量オプション無しで見積もり依頼。

    • この返信は10年、 1ヶ月前に山田が編集しました。
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    #168
    山田
    キーマスター

    新型の標準モデルで発注しました。

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    #172
    山田
    キーマスター

    納品しました。感度が違うので、コントローラを調整する必要あり。

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