Crが蒸着できない

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  • 2014年6月17日 9:35 AM #47
    山田
    キーマスター

    ・ビーム出力は正常だが、膜厚計でCrの蒸着がモニターできない。

    2014年6月17日 9:38 AM #48
    山田
    キーマスター

    加熱されている箇所を観察したところ、ハースライナー周りに付着していたクロム粉など、Crペレット以外の部分が赤熱していた。
    ハースライナーにBNが使用されていた。

    チャージアップ＋周辺箇所へビームが引き込まれ、クロムのペレットにビームが当たっていなかったと考えられる。

    ハースライナー周りをクリーニング後、正常に蒸着されるようになった。ハースライナーはメーカーの表を見るとカーボンで良いはずだが、以前、ハースライナーが割れてクロムが溶け出した経験があった記憶があるので、そのときに、BNに交換されたのではないか。

    当面、クリーニングをまめにする対応で様子を見る。

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