E-gun使用時に異常停止

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  • 2014年12月16日 7:30 PM #183
    山田
    キーマスター

    Cr蒸着用のe-gunを動かしていると、PPMSが異常停止することがある。

    2014年12月16日 7:33 PM #186
    山田
    キーマスター

    e-gunが200V1相の配電盤ラインを共有していた（ブレーカーは別だが、供給源が同じ）ため、E-gunが電力を使用した際に、一瞬電圧が下がる or 不安定になるなどでPPMS側に障害が起きたものと推測。

    E-gunの電源を、同じ配電盤の中にある3φ 200Vから、1相分とる結線に変更。

    その後問題なし。

    結線のグランド電位ラインを間違えないように注意すること。

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