山田

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- AFM-AMPのローターリースイッチが緩んで内部で断線
  トピック作成者: 山田フォーラム: JEOL AFM/STM@D222
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- 8年前
  山田
- 膜厚計不調
  トピック作成者: 山田フォーラム: 金蒸着チャンバ
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- 9年前
  山田
- 到達圧力が低いように思う（ベーキング後で1E-5Pa程度）
  トピック作成者: 山田フォーラム: 金蒸着チャンバ
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- 9年、 1ヶ月前
  山田
- E-gunの電源を入れた途端に、エミッションカレントが、MAXまで流れてしまう。
  トピック作成者: 山田フォーラム: E-gun（FET部屋前室）
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- 9年、 4ヶ月前
  山田
- マイクロメーターが回らなくなった
  トピック作成者: 山田フォーラム: ナガセ　低温プローバ
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- 9年、 8ヶ月前
  山田
- スクラバー（シャワー）が動いていない
  トピック作成者: 山田フォーラム: 強酸用ドラフトチャンバー
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- 9年、 9ヶ月前
  山田
- 風量が足りない
  トピック作成者: 山田フォーラム: 強酸用ドラフトチャンバー
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- 9年、 9ヶ月前
  山田
- E-gun使用時に異常停止
  トピック作成者: 山田フォーラム: PPMS
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- 9年、 11ヶ月前
  山田
- 微妙な水漏れ
  トピック作成者: 山田フォーラム: 純水精製装置（イオン交換タンク＋フィルタのタイプ）
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- 10年前
  山田
- 流量コントロール不可。赤ランプ点滅
  トピック作成者: 山田フォーラム: マスフローコントローラ（RFスパッタ用）
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- 10年前
  山田
- 温度が読み取れなくなる
  トピック作成者: 山田フォーラム: 温度コントローラ：SI 9700
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- 10年、 1ヶ月前
  山田
- 突然停止
  トピック作成者: 山田フォーラム: スクロールポンプ：nXDS15i
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- 10年、 2ヶ月前
  山田
- 圧力が上がらない
  トピック作成者: 山田フォーラム: 除振台用コンプレッサー1（MCBJ用クライオスタットに使用）
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- 10年、 2ヶ月前
  山田
- オイル漏れ
  トピック作成者: 山田フォーラム: 消音カバー付きコンプレッサー（JEOL UHV-STMに使用）
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- 10年、 2ヶ月前
  山田
- 水循環用ポンプが動いていない
  トピック作成者: 山田フォーラム: 強酸用ドラフトチャンバー
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- 10年、 3ヶ月前
  山田

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