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メーカーに送って調査依頼。
大阪大学大学院基礎工学研究科
山田様インフィコンのティユです。
いつもお世話になっております。本日 XTM/2 + ケーブル類の一式を受領し、調査しました。
その結果、オシレーターがＮＧ であることが分かりました。あいにく、XTM/2 は既に生産終了しており、全ての部品の在庫がありませんので、通常なら修理を受け付けません。
今回に限って、オシレーターを分解して、基板上のICチップを交換してみました。
その結果、正常に動作できました。このまま週末まで連続運転を行い、問題がなければ月曜日に発送させて頂きます（今回の作業は無償にしました）。
※ Interconnect cable は大丈夫そうですが、グラウンド線などがむき出しの状態であるため、
ノイズが乗っかりやすくなります。取り急ぎ、ご報告まで。
宜しくお願い致します。
———————————————-
インフィコン株式会社
技術サービスセンター
ティユ チン チン
〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-2-3
第一竹生ビル1F
TEL +81-45-471-3914
———————————————–—– 転送者: Chin Chin Tiew/JP/Inficon 転送日: 2015/11/06 17:26 —–
送信元: Chin Chin Tiew/JP/Inficon
宛先: 山田 亮
Cc: Ryo Yamada
日付: 2015/11/05 12:16
件名: Re: インフィコンXTM2に関するお問い合わせ•••
弊社製品をご愛用いただいており、誠にありがとうございます。
インフィコン・カスタマーサポートの木下と申します。お問い合わせの件ですが、以下の情報にてご確認いただけませんでしょうか？
１．ケーブルの配線に関しまして、ピン間の抵抗値をご確認下さい。
2. オシレータは、3年前にサポート終了をしており故障の場合にはご対応できませんのでご了承下さい。
3. XTM2本体ですが、こちらも2年前にサポートを終了していおりますが、故障内容に依存して復旧可能の場合もございますが、
引き取りにての調査となります。以下にお送りいただければ無償で調査致します。
修理可能な場合には、事前お見積りをお送りいたし、修理進行のご判断をいただければと存じます。
”読み取りが不可能” との事ですが、具体的にはXTAL FAILアラームでしょうか？宜しくお願い申し上げます。
インフィコン株式会社
技術サービスセンター
ISS部膜厚計製品担当 テクニカルサポート エンジニア
木下哲也
〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-2-3
新横浜第一竹生ビル1F
Tel: 045-471-3328, 045-471-3346 (直通)
Fax: 045-471-3891
E-mail: tetsuya.kinoshita@inficon.com
URL: http://www.inficon.jp/thinfilm/index.php
http://products.inficon.com/ja-jp/nav-products/Category/ProductGroup/ThinFilmDeposition?path=Products%2F・真空チャンバ内のクリスタルホルダ内の配線は、テフロン被覆撚り線で配線しなおした。
1. 裏面のネジ３つを外すと..
2. 水晶をどかした時に出てくる電極固定治具が外れる。
3. ケーブルを覆っている鉄管を外した後に、電極固定治具を引っ張りだす（写真はスプリングコンタクトが裏面に有る状態＝2で見える側の裏面が見えている）。
4. スプリング側のネジを回すと、ケーブルを挟んでいるワッシャが緩むので、ケーブルを外し、付け替える。スプリングコンタクトに通じるネジと、周辺の金属部品は絶縁されているのでワイヤのあまりなどが余計なところに接触しないように注意すること（スプリングおよびスプリングに繋がるネジと、周辺の部品が電気的には絶縁されていることを確認すること）。
5. スプリングをピンセットで少し起こしてあげると、水晶の発振が良くなることがある。ついでに接点を磨いておくとよい。
情報収集と問い合わせ
・膜厚モニタのモデルは XTC/2 inficon。生産終了モデル。現行機種は XTC/3。
・発振器部分（Crystal interface, 丸い筒状の部分)の型番は、757-302-G1。・XTC/2と発振器部分をつなぐケーブルのダメージが酷いのでこちらでの断線を疑う。
・ダウンロードしたマニュアル（添付）に、XTC/2側の接続ピンアサインはあった（2.6.6, page 2-25）。15ピンのうち 11-15までの5本しか使っていない。発振器側の9ピン側の情報は見つけられない。ちなみにXTC/3の方のマニュアルには同じ記述はないようだ。=> どうもこの情報は誤りなので注意。下に日本Inficonから送ってもらった資料があるのでそちらを参照。・inficonの日本語サイトの問い合わせ窓口から、故障箇所の特定に必要な部品を送ってくれないか問い合わせ中。
マイクロメータは、8000円程度で購入できるが、工作センターなどでは、穴あけ加工ができない（硬度の高い材料のため、ドリルがむり。ワイヤー放電加工は油に全体を漬けてしまうのでマイクロメーター部分に問題が出る可能性あり）。
野方電機工業というところがうけおってくれたので、試しに出してみる。
フィルタ交換の際にシャワーも確認。
http://molarch.sakura.ne.jp/lab-insider/equipments/forums/topic/風量が足りない/まず、シャワーノズルっぽいものが見当たらず、また、詰まっている箇所がない。
シャワーノズルはとれてしまった可能性もある。
ドラフトの洗浄棟の部分に大量の塩がたまっていた。同様の不溶性の塩がドラフト下部の水タンク内にもたまっている様子なので、この配管部分でつまってしまって、水が循環していない可能性が高い。
大掛かりな作業になるので、春の学会後にころあいをみて作業する。
フランジが硬かったが、なんとか開けることができた。
内部には、サランロックhttp://www.nippon-clever.co.jp/mesh/09.html タイプのフィルターが二段はいっていた。一番下の段のフィルタ部分には、塩がぎっしり密着していて、これがつまりの原因。
シャワーノズル部分はとくに詰まってはいなかった。
シャワー室部分にたまっていた大きな塩の塊を取り除いたあと、掃除機で清掃。
二枚あるうちの上段のフィルターにつまっていた塩は、水洗いしたら落ちてきたので、洗った後のフィルタをはめた。
風量は計測していないが、見違えるほど吸うようになった。
