[山田]

e-gunが200V1相の配電盤ラインを共有していた（ブレーカーは別だが、供給源が同じ）ため、E-gunが電力を使用した際に、一瞬電圧が下がる or 不安定になるなどでPPMS側に障害が起きたものと推測。

E-gunの電源を、同じ配電盤の中にある3φ 200Vから、1相分とる結線に変更。

その後問題なし。

結線のグランド電位ラインを間違えないように注意すること。

[山田]

納品しました。感度が違うので、コントローラを調整する必要あり。

[山田]

新型の標準モデルで発注しました。

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[山田]

リンテック横田さんと打ち合わせ

0.3SCCM程度であれば、小流用オプションなしの標準モデル 5SCCMでも十分いけるはず。小流量オプションをつけると値段は＋一万程度だが、納期が+一週間かかる。次回故障したときのことなども考え、標準品で良いと管がル。

【分解能の計算】
制御スケールは、フルスケールに対する%で決まる。
5sccmのモデルの最小流量はフルスケールの2% = 0.01sccm なので問題なし。精度は、+-0.25% = 0.00125sccm

小流量オプション無しで見積もり依頼。

• この返信は10年、 1ヶ月前に山田が編集しました。

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[山田]

オートスタートモードの設定方法。

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[山田]

山田先生

お世話になります。
エドワーズ㈱伊藤です。
例えば、電源の瞬停等が発生した場合に停止する事は考えられます。
このポンプは、電源を入れるとスタンバイとなり起動スイッチを押すことでスタートする為です。
上記の対策としては、オート運転モードにしておく事です。
このモードは、電源を供給されると自動的に起動がかかります。

以上
エドワーズ株式会社
名古屋　伊藤

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AILIN　VACUUM　CO.,LTD　㈱アイリン真空
　 Yoshinori Matsui　　　松井　良憲

〒452-0961　愛知県清須市春日東出81番地
TEL　052-401-2061 FAX　052-401-6960
E-mail:matsui@ailin-va.com

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[山田]

汎用のチェックバルブ（逆止弁）を購入し取り替えたところ順調。

Monotaro
05719822 CKD 逆止め弁 CHV2-8 1個

[山田]

逆止弁の劣化で、弁が開きっぱなしになっていた。

逆止弁は、黒いホースのタンクとの接続部分についている。

弁の部品の写真の左側がダメになった方、右側が正常に機能している物。

水分などで中のバネが劣化したり、固着したりするとのこと。

交換部品は日本電子経由で購入する必要有り。

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[山田]

製造元では製造中止。　部品、オイル共に入手不可能。
オイルは、しみ出すようにできているので、自然に出てきた物ではないか。通常のコンプレッサー用オイルでOKのはず。

[山田]

水道管工事用の短いスパナを買って、自分で回してみる。

外したとたんに、たまっている水が落ちてくる可能性があるので注意。

シャワーに上がるラインの排水をして、シャワー直下に水受け用のゴミ袋を置くこと。

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[山田]

清掃：4万

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[山田]

山口さんに確認してもらった。

スクラバー横の蓋を開けると中の様子がわかる。水が全く出ていない。
おそらく、シャワーのノズルが詰まった状態。

清掃が必要。見積もり中。

また、シャワー上部に、プラスチックのあらいフィルターの様な物がついており、そこも詰まっている雰囲気。風量がよわいのはそのせいか。フィルターは配管の上側に有り、引きずり出すのが大変そうなので、こちらも合わせて作業見積もり。

[山田]

やはりスクラバーが動いていない。シャワー目詰まり。別項目を立てる。

[山田]

ポンプ交換。
交換直後、ポンプが動かなかったが、漏電遮断機が働いていた模様。ドラフト配電盤内の写真、緑ボタンを押したところ、動き出した。ポンプ故障ではなくて、漏電遮断器リセットでよかった可能性もある。

しかし、ドラフト上部のシャワーから水が出ていない模様。目詰まりか。

来週確認してもらう。

以前の見積もりによると、清掃とミストキャッチャー交換で 10万。

• この返信は10年、 4ヶ月前に山田が編集しました。
• この返信は10年、 4ヶ月前に山田が編集しました。

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[山田]

ブレーカーを切って、プラグを差し込んでみたところ、溶液が残っているようだったので、コンセントソケットを取り外して超純水で洗浄、窒素ガンで乾燥。

パネルから取り外すには、
1. ドラフト下部扉から、電源部背面のプロテクターを外す
2. 正面パネルのシールを剥がし、ネジを露出させる
3. ネジを回してソケットを外す
4. 電源ケーブルを外す（ワンタッチコネクタになっているので、爪部分をマイナスドライバで押し上げてやると簡単に抜ける）

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