ドラフト部屋にあるグローブボックス用のチラーが、FET部屋にあるものと同じ型だったので、交換。様子を見る。
月: 2015年9月
チラーの場所を移動
水補給後も温度上昇が続いたので対策。
・現状の位置では、直近のロータリーポンプの発熱の影響を受けていた。
・発熱体がない、ロードロック部分の裏側にチラーを移動。
様子を見る。
チラーの水の量が減っていたので補給した。
最近チラーが止まりやすいことと関係あるかも。
水の量を定期的に確認すること。
ドラフト部屋にあるグローブボックス用のチラーが、FET部屋にあるものと同じ型だったので、交換。様子を見る。
水補給後も温度上昇が続いたので対策。
・現状の位置では、直近のロータリーポンプの発熱の影響を受けていた。
・発熱体がない、ロードロック部分の裏側にチラーを移動。
様子を見る。
最近チラーが止まりやすいことと関係あるかも。
水の量を定期的に確認すること。