Tada Lab Insider site

購入品目

• ガスケット類、ロータリーポンプ用オイル、スクロール（アジレント）用 交換用チップシール （アイリン真空） ???? ??? I CF070-G　ガスケットハ???5?1 組1PCシ-ル

• 水晶振動子センサ（アイリン真空） ???? ??? 750 -225-G2 Sensor Crystals 5MHz Gold

検討したけど買ってないもの

• ナノセンター e-gun用金 (φ10,t = 10程度） 25万程度か。（田中貴金属） 加工賃３万程度。円盤型（φ20, t= 5 or 10 ???? ???02 01-AU粒

アズワンなどの理化学機器一般。

#小川研、家さんとこが使っている。ちょっと押しが強いので注意。

株式会社 安田商店
橋爪 秀夫
〒533-0013 大阪市東淀川区豊里5-27-6
(事務所移転致しました）
TEL 06-6329-2909
FAX 06-6327-8069
携帯 090-8127-4767
個人E-mail hashidume@yasuda-sci.com
会社E-mail info@yasuda-sci.com

1.毎週ミーティング後の週一清掃の実施
ミーティング後（ミーティングが無い週は金曜15:30〜）に実験室・居室の清掃・整理を行います。
実施事項は下記の通りです。

・掃除機掛け、ゴミ捨て、物の整理。
・持ち主不明の試薬・サンプルの廃棄
・消耗品、洗瓶への試薬の補充。在庫状況を確認し、必要な物品は発注する。
・グローブボックスの整理・清掃（使用者＋B4）

第一回は10月16日のミーティング後に行います。
ご協力のほどよろしくお願いいたします。

2.実験器具、サンプルの使用・保管ルールについて
実験器具がなくなる、あるいは持ち主不明のサンプル・試薬の放置が見受けられます。
これに伴い、下記の使用・保管ルールを取り決めます。

・共有の実験器具には所属する装置・場所を明記（例：レンチ-アルミチャンバー用、　ピンセット-FET中央机　等）し、
使用後は必ず所定の場所に戻すこと。

・試薬入のバイアル、サンプルケースには名前を明記し、持ち主がわかるようにすること。
個人の保管場所に保管し、共用スペースには放置しない。
共用スペースに放置されている持ち主不明の物は、週一清掃のタイミングで廃棄する。

第一回の週一清掃までに、バイアル・サンプルケースへの名前の明記を済ませておいて下さい。
（持ち主不明の物は廃棄します。）

※これに伴い、個人用の実験器具（ピンセット・ビーカー等）、保管用のケース等が必要であれば、
ご連絡下さい。まとめて発注いたします。

1. 10月9日（金）午後 金蒸着チャンバーのオーバーホール
   チャンバー内のゴミの取り除きおよび内壁の清掃を行います。
   使用している方は、ご協力お願い致します。

担当
株式会社ヤップ　小坂
〒550-0004
大阪市西区靭本町1丁目13-16
川越靭ビル5階
Tel. 06-6445-7317 Fax. 06-6445-7318
Mails. kosaka@yap-net.co.jp
web. http://www.yap-net.co.jp
http://www.facebook.com/yap.co.ltd

マニュアル

2015年10月16日記載。

FET-room-vacuum-chamber-list_20151016

(Markdownを使って記述しています）

注意事項

• 溜まった金箔が落下するなどの事故につながるので、定期的に行う。
• クリーニング後、到達圧力はあまり改善されない模様(典型的には 1E-5Pa程度）。真空引き速度は若干向上する傾向。
• 半年に一回くらいが目安か。
• おおよそ半日がかりの作業になる。
• チャンバだけでなく、チャンバ周りの棚なども整理すること。
• 溶剤を使うときは、ドアを開けるなどして換気に注意すること。

必要な工具

• スパナ、ラチェットレンチ
• ピンセット
• キムワイプ
• イソプロパノールあるいはアセトン
• ガスケット ICF114, ICF70, ICF203（一番でっかいところ用）

作業のあらまし

1. すべてのポンプを停止。
2. チャンバ周辺を掃除機で清掃。
3. 膜厚計、E-gun、金蒸着ポートのフランジの位置が分かるようにマジックでマーキング（とくに膜厚計の方向はややこしいので注意）。
4. 試料台がついている一番上の蓋フランジを取り外す。
   • 試料台、シャッターについた金箔をピンセットで剥がす。
   • 試料台へこびりついているものにより、凹凸が激しくなっている場合など、必要に応じて紙やすりなどで研磨してもよい（最後に、超音波洗浄すること）。
5. 膜厚計、E-gun、金蒸着ポートを取り外す
   • 各部品のクリーニング方法は別にまとめる-執筆中）
   • E-gunについては、絶縁碍子の様子を確認し、必要そうなら交換する（あるいは一年に一回交換すると決めてしまうか？）。参考リンク
6. チャンバーの内側に溜まった金箔などをピンセットで丁寧に剥がす。剥がした後は、イソプロパノール（あるいはアセトン）を軽く染み込ませたキムワイプで拭く。
7. 枝分かれして横方向に向いているポートの内側にも蒸着金が溜まっていることがあるので、拭き取る（とくに金のボートが付いている部分）。
8. チャンバーの底にたまったゴミを取り除くため、底のフランジを外し、ゴミを回収。
9. 取り外した部品を方向に気をつけて付け直す。
   • 膜厚計は、フランジに固定する前に正常に動くことを確認すること。
10. すべてのフランジを締め、蓋を締めた後に周りに掃除機で清掃。
11. １〜２日ベーキング。

PMMA, ZEPなど、EB用のレジストの輸入総代理店。

小西安株式会社
開発本部　開発部
箱守　美沙子
〒103-0023　東京都中央区日本橋本町2-6-3
TEL03-3661-3187
FAX03-3661-4675
E-mail: m-hakomori@konishiyasu.com
URL: http://www.konishiyasu.com/

LOR (zep用二段レジスト） ???2015.06.22 (大阪大学 下店様)

PMMAなど ???2015.07.29 (大阪大学 下店様)

（執筆中）

本体 手前の青い機材が冷却CCDセンサ。奥の白い箱が分光器

分光器のライトガイド導入部分。ORIELと書いてあるのがスリット。写真縦方向に 50umのスリットが切ってある。ライトガイド部分も立て一列にファイバーが並べてあるので、ファイバーの出口とスリットの位置を合わせる必要がある。おもに左右方向に合わせればよい（上下方向は鈍感）。

Jpeg

ライトガイドに取り付ける顕微強の対物レンズアダプタ（もともとはCマウント用らしいがうまくはまる）

Jpeg

光ファイバの入射光用ポートに接続する。対物レンズを使用する場合、焦点位置を知るために一旦光を入射する。

Jpeg

接続パソコン：SONYのデスクトップに専用のインターフェースボードが乗っているのでそれを使う

ソフト：Andor MCD というソフトがインストールされている。

設定上の注意：
・分光器にはシャッターが付いているので、シャッターを開閉するための電源が必要。5V。DCジャックは、外径 5.5mm ピン径 2.1 or 2.5 （多分、2.5) RSコンポーネンツ　品番　487-854の物がある。芯線が +5Vになるように配線する。
・シャッターの開閉は、トグルスイッチで手動で行える。上向きがOPEN。あくと、「コン」という感じの音がする。
・冷却CCDは冷却しないと動かない。冷却は、ソフトウェアから指示して行う。

CCDビデオカメラでは写せないくらいもの、あるいは高解像度の写真を撮りたい場合に使用。

Cマウントの中継アダプタ上に、アルミの削り出しの部品でカメラを取り付ける。

Cマウントの中継アダプタには、接眼レンズをとりつける（付けないとなにも映らない）

Jpeg

シャッター電源は 5V。

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