Tada Lab Insider site

MTSv3-0DriverLabVIEW2014

NFのサイトはこちら。

日本語版
・操作マニュアル fra5097_mnl
・GPIBコマンドリファレンス fra5097_mnl_gpibusb

English
-operation manual e_fra5097
-GPIB command reference e_fra5097_2

Labview
– Driver nffra5097
– Manual LabVIEWドライバ英文取説

データ表示／簡易リモート制御用ソフト
・データー表示およびリモート制御：FRA_DataDspl_V120
・USBメモリに保存したデーターを表示する専用ソフト：dspl5090.lzh

pure-water-operation.pptx

pure-water-operation.pdf
(20170118 トラブルシューティング追加）

漏水検知器も参照のこと。

2019年　超純水生成装置の交換に伴い不要となりました（同等の機能を持つものが、付属品でついてきました）。

無機ドラフト内の水栓に電磁弁と漏水検知器を仕込み、漏水時に自動で元栓が止まるようにした。

詳細はパワポファイル参照。
2017/1/10 バルブを手動でON/OFFできるようにスライドスイッチを追加。通常OFFとする（通電し続けているとバルブが微妙に発熱するため）。

漏水対策

【超純水】
ザルトリウス社製。
取扱代理店は、和研薬株式会社

（大阪営業）
恒川智行　様
072-749-5200
tsunekawa@wakenyaku.co.jp

【純水】（超純水生成装置の前についている一段目のフィルタ）
オルガノ　純水器標準セット
メインのイオン交換樹脂（一番大きいタンク）はG5C型（モノタローによると取扱停止品で現在は G5D）。イオン交換樹脂の再生品を詰め替えたタイプが安く売っていたはず。
前後のフィルタは、活性炭および中空糸系のパーティクル除去用フィルタ。詳細情報が失われているので、後ほど確認する。

活性炭：アズワン　1-5742-02 繊維状活性炭 FD 1500円

Manual for Thermoelectricity Measurements

Sept 2014 – Thermoelectric measurements

• フィルタ内蔵型　Xeランプ光源。

• バンドパスフィルタあり。 500nm, 590nm, 670nm。

• 英語版マニュアル MAX303160223

• 購入時資料
  お見積書（MAX-303）大阪大学様 （見積もりでは、UV用ライトガイド取り付け口、となっているがVIS用に変更）

2015年10月16日記載。

FET-room-vacuum-chamber-list_20151016

(Markdownを使って記述しています）

注意事項

• 溜まった金箔が落下するなどの事故につながるので、定期的に行う。
• クリーニング後、到達圧力はあまり改善されない模様(典型的には 1E-5Pa程度）。真空引き速度は若干向上する傾向。
• 半年に一回くらいが目安か。
• おおよそ半日がかりの作業になる。
• チャンバだけでなく、チャンバ周りの棚なども整理すること。
• 溶剤を使うときは、ドアを開けるなどして換気に注意すること。

必要な工具

• スパナ、ラチェットレンチ
• ピンセット
• キムワイプ
• イソプロパノールあるいはアセトン
• ガスケット ICF114, ICF70, ICF203（一番でっかいところ用）

作業のあらまし

1. すべてのポンプを停止。
2. チャンバ周辺を掃除機で清掃。
3. 膜厚計、E-gun、金蒸着ポートのフランジの位置が分かるようにマジックでマーキング（とくに膜厚計の方向はややこしいので注意）。
4. 試料台がついている一番上の蓋フランジを取り外す。
   • 試料台、シャッターについた金箔をピンセットで剥がす。
   • 試料台へこびりついているものにより、凹凸が激しくなっている場合など、必要に応じて紙やすりなどで研磨してもよい（最後に、超音波洗浄すること）。
5. 膜厚計、E-gun、金蒸着ポートを取り外す
   • 各部品のクリーニング方法は別にまとめる-執筆中）
   • E-gunについては、絶縁碍子の様子を確認し、必要そうなら交換する（あるいは一年に一回交換すると決めてしまうか？）。参考リンク
6. チャンバーの内側に溜まった金箔などをピンセットで丁寧に剥がす。剥がした後は、イソプロパノール（あるいはアセトン）を軽く染み込ませたキムワイプで拭く。
7. 枝分かれして横方向に向いているポートの内側にも蒸着金が溜まっていることがあるので、拭き取る（とくに金のボートが付いている部分）。
8. チャンバーの底にたまったゴミを取り除くため、底のフランジを外し、ゴミを回収。
9. 取り外した部品を方向に気をつけて付け直す。
   • 膜厚計は、フランジに固定する前に正常に動くことを確認すること。
10. すべてのフランジを締め、蓋を締めた後に周りに掃除機で清掃。
11. １〜２日ベーキング。